集成电路装备行业概念股票有： 万业企业、长川科技、至纯科技、普利特。
万业企业（600641）：
2021年报显示，万业企业净利润3.77亿，毛利率56.22%，每股收益0.41元。拟与微电子所牵头设立集成电路装备集团。
3月15日消息，万业企业5日内股价上涨4.11%，该股最新报20.410元涨0.2%，成交6.67亿元，换手率3.49%。
3月14日消息，资金净流入1.47亿元，超大单资金净流入7757.23万元，成交金额6.67亿元。
至纯科技（603690）：
2021年，至纯科技公司净利润2.82亿，近五年复合增长为54.62%；毛利率36.19%，每股收益0.89元。公司于2020年8月17日晚发布非公开发行A股股票预案，拟向不超35名特定投资者发行不超78,005,377股，募资不超18.6亿元用于半导体湿法清洗设备扩产项目、 半导体晶圆再生二期项目、光电子材料及器件制造基地建设项目和补充流动资金或偿还债务。半导体晶圆再生二期项目总投资6亿元，计划在原晶圆再生一期项目的基础上，进一步扩充晶圆再生项目产能。（已核准）公司于2021年8月24日晚公告，拟公开发行不超11亿元可转债，用于单片湿法工艺模块、核心零部件研发及产业化项目、至纯北方半导体研发生产中心项目、集成电路大宗气体供应站及配套项目以及补充流动资金或偿还银行贷款。集成电路大宗气体供应站及配套项目总投资3.89亿元，项目将基于公司在大宗气站建设相关的技术和经验积累，为上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司12英寸集成电路研发制造生产线，建造大宗气体供应站及其配套设施。
3月15日消息，至纯科技今年来涨幅上涨4.01%，最新报40.730元，涨0.64%，成交额6.46亿元。
3月14日该股主力资金净流入4476.32万元，超大单资金净流入45.72万元，大单资金净流入4430.6万元，中单资金净流出673.21万元，散户资金净流出3803.11万元。
普利特（002324）：
2021年，普利特公司净利润2374.82万，近五年复合增长为-39.24%；毛利率10.84%，每股收益0.02元。持股25%理硕科技股权，截至20年8月，标的目前正处于产品研发阶段，主要方向是KrF和ArF、TFT、PSPI等光刻胶产品的企业；公司控股子公司上海普利特半导体材料投资了江苏影速集成电路装备1.27%的股权，该公司主要生产激光直写的光刻机设备，主要应用在PCB、FPC、HDI和集成电路掩膜板。
3月15日普利特收盘消息，7日内股价下跌8.04%，今年来涨幅下跌-12.74%，最新报14.720元，跌1.81%，市值为149.77亿元。
3月14日消息，普利特资金净流出4589.32万元，超大单资金净流出2251.91万元，换手率1.77%，成交金额1.77亿元。
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